激發光源是原子發射光譜儀中一個極為重要的組成部分，它的作用是給分析試樣提供蒸發、原子化或激發的能量。
在光譜分析時，試樣的蒸發、原子化和激發之間沒有明顯的界限，這些過程幾乎是同時進行的，而這一系列過程均直接影響譜線的發射以及光譜線的強度。
試樣中組份元素的蒸發、離解、激發、電離、譜線的發射及光譜線強度除了與試樣成份的熔點、沸點、原子量、化學反應、化合物的離解能、元素的電離能、激發能、原子(離子)的能級等物理和化學性質有關以外，還跟所使用的光源特性密切相關，不同的激發光源對各類樣品、各種元素具有不同的蒸發行為和激發能量，因此要根據不同的分析對象，選擇具有相應特性的激發光源。
由于樣品的種類繁多、形狀各異、元素對象、濃度、蒸發及激發難易不同，對光源的要求也不同。沒有一種萬能光源能同時滿足各種分析對象的要求。
各類光源在蒸發溫度、激發溫度、放電穩定性等各方面都各有其特點和應用范圍。
原子發射光譜分析的誤差，主要來源是光源，因此在選擇光源是應盡量滿足以下要求：
1) 高靈敏度，隨著樣品中濃度微小變化，其檢出的信號有較大的變化;
2) 低檢出限，能對微量和痕量成份進行檢測;
3) 良好的穩定性，試樣能穩定地蒸發、原子化和激發，分析結果具有較高的精密度;
4) 譜線強度與背景強度之比大(信噪比大);
5) 分析速度快;
6) 結構簡單，容易操作，安全;
7) 自吸收效應小，校準曲線的線性范圍寬。
原子發射光譜儀的類型，目前常用的光源有以下兩種：一類是經典光源(電弧及火花)，另一類是等離子體及輝光放電光源，其中以電感耦合等離子體光源(ICP)居多，在不同的領域中得到廣泛的應用。
